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簡要描述:產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。
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細(xì)節(jié)圖解
潔凈烘箱 型號(hào):Class-980A/B
產(chǎn)品特點(diǎn):
該設(shè)備是一種新型工業(yè)級(jí)潔凈干燥設(shè)備,采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。
產(chǎn)品用途:
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn):
外殼:外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。
內(nèi)膽:采用SUS304鏡面不銹鋼厚度1.2-1.5mm厚度之鏡面不銹鋼板,采用圓弧R角滿焊處理,易清理,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE1。
保溫層:采用高級(jí)保溫棉,六面保溫?cái)酂?,保溫厚度?/span>80mm-150mm,保溫性能好。
載物層架:可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距,空間利用率高。
控制系統(tǒng):
★控制面板:采用PID自動(dòng)演算,7寸觸摸屏顯示,溫度、時(shí)間、曲線、可編程分段設(shè)置等參數(shù)
報(bào)警功能:帶傳感器斷線報(bào)警功能,帶超溫警報(bào)保護(hù)功能,確保產(chǎn)品運(yùn)行安全
★加熱管:加熱管位于設(shè)備背面(可以有效避免液體滴到加熱管上引起爆燃現(xiàn)象)
風(fēng)道結(jié)構(gòu):
風(fēng)道結(jié)構(gòu):風(fēng)道采用背部吸風(fēng),上下及兩側(cè)四面吹風(fēng),確保箱內(nèi)溫度均勻性,采用高密度沖孔風(fēng)板。
送風(fēng)裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達(dá)+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)水平糾正處理,確保運(yùn)風(fēng)平穩(wěn) 。
送風(fēng)裝置安全保護(hù)系統(tǒng):帶超溫過載過流保護(hù)功能,確保馬達(dá)及風(fēng)機(jī)的使用壽命和安全性能。
電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵。
潔凈循環(huán)系統(tǒng):
采用平面水平后邊送風(fēng)后,經(jīng)耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往上下及兩側(cè)四面(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),0.3um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達(dá)Class 100。
排氣口:(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫。
壓差計(jì):進(jìn)口壓差計(jì),可實(shí)時(shí)監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。
配全自動(dòng)開關(guān)排風(fēng)門,烘烤過程風(fēng)門緊閉,確保內(nèi)部對(duì)外封閉,防止外部排風(fēng)PARTICLE回塵污染
安全功能:
采用超溫保護(hù)系統(tǒng),確保箱體在運(yùn)行過程中的整體安全性能。
箱體內(nèi)部電器保護(hù)系統(tǒng)(確保箱體內(nèi)部電器運(yùn)行平穩(wěn),安全可靠):
超溫防止器(獨(dú)立限溫,超溫?cái)嚯姡?/span>
相序保護(hù)(欠壓欠相保護(hù));
馬達(dá)過電流保護(hù);
控制線路保險(xiǎn)絲;
電熱過電流保護(hù);
無熔絲開關(guān)。
參數(shù)介紹:
產(chǎn)品名稱 | 潔凈烘箱 | |
產(chǎn)品型號(hào) | Class-980A | Class-980B |
顯示方式 | 7寸觸摸屏顯示,TIMI/富士品牌 | |
電源電壓 | AC380V 50HZ(三相五線制) | |
控溫范圍 | 室溫+10~200℃ | 室溫+10~300℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
波動(dòng)度 | ±1℃ | |
均勻度 | ±1.5% | |
循環(huán)方式 | 強(qiáng)制對(duì)流 | |
進(jìn)氣口 | Φ16mm | |
箱內(nèi)潔凈度 | Class100/Class1000/Class10000 | |
過濾器 | 耐高溫高效過濾器 | |
定時(shí)方式 | 1-9999min | |
輸入功率 | 17KW | |
內(nèi)膽尺寸(W*D*H)mm | 1400*700*1000 | |
外形尺寸(W*D*H)mm | 1950*1055*1790 | |
開門方式 | 雙開門 | |
載物托架(標(biāo)配) | 2層(承重30KG) | |
定時(shí)范圍 | 0~9999min/h | |
容積 | 980L | |
重量 | 730KG | |
備注: 1.以上所有機(jī)型外觀尺寸僅供參考,實(shí)際尺寸以實(shí)物為準(zhǔn); 2.產(chǎn)品內(nèi)部尺寸可根據(jù)客戶要求進(jìn)行非標(biāo)定制 |
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