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潔凈烘箱 型號(hào):Class-980A/B

簡要描述:產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

  • 產(chǎn)品型號(hào):Class-980A/B
  • 更新時(shí)間:2024-11-01
  • 訪  問  量:63

產(chǎn)品分類

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參數(shù)配置

細(xì)節(jié)圖解

潔凈烘箱  型號(hào):Class-980A/B

產(chǎn)品特點(diǎn)

     該設(shè)備是一種新型工業(yè)級(jí)潔凈干燥設(shè)備,采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。

產(chǎn)品用途

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):

外殼:外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。

內(nèi)膽:采用SUS304鏡面不銹鋼厚度1.2-1.5mm厚度之鏡面不銹鋼板,采用圓弧R角滿焊處理,易清理,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE1。

保溫層:采用高級(jí)保溫棉,六面保溫?cái)酂?,保溫厚度?/span>80mm-150mm,保溫性能好。

載物層架:可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距,空間利用率高

控制系統(tǒng):

控制面板:采用PID自動(dòng)演算,7寸觸摸屏顯示,溫度、時(shí)間曲線、可編程分段設(shè)置等參數(shù)

報(bào)警功能:帶傳感器斷線報(bào)警功能,帶超溫警報(bào)保護(hù)功能,確保產(chǎn)品運(yùn)行安全

加熱管:加熱管位于設(shè)備背面(可以有效避免液體滴到加熱管上引起爆燃現(xiàn)象)

 

風(fēng)道結(jié)構(gòu):

 風(fēng)道結(jié)構(gòu):風(fēng)道采用背部吸風(fēng),上下及兩側(cè)四面吹風(fēng),確保箱內(nèi)溫度均勻性,采用高密度沖孔風(fēng)板。

  送風(fēng)裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達(dá)+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)水平糾正處理,確保運(yùn)風(fēng)平穩(wěn) 。

  送風(fēng)裝置安全保護(hù)系統(tǒng):帶超溫過載過流保護(hù)功能,確保馬達(dá)及風(fēng)機(jī)的使用壽命和安全性能。

   電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵

潔凈循環(huán)系統(tǒng)

 采用平面水平后邊送風(fēng)后,經(jīng)耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往上下及兩側(cè)四面(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),0.3um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達(dá)Class 100。

    排氣口:(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫。

    壓差計(jì):進(jìn)口壓差計(jì),可實(shí)時(shí)監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

    配全自動(dòng)開關(guān)風(fēng)門,烘烤過程風(fēng)門緊閉,確保內(nèi)部對(duì)外封閉,防止外部排風(fēng)PARTICLE回塵污染

安全功能:

    采用超溫保護(hù)系統(tǒng),確保箱體在運(yùn)行過程中的整體安全性能。

    箱體內(nèi)部電器保護(hù)系統(tǒng)(確保箱體內(nèi)部電器運(yùn)行平穩(wěn),安全可靠):

    超溫防止器(獨(dú)立限溫,超溫?cái)嚯姡?/span>

    相序保護(hù)(欠壓欠相保護(hù));

    馬達(dá)過電流保護(hù);

    控制線路保險(xiǎn)絲;

    電熱過電流保護(hù);

無熔絲開關(guān)。

 

 

 

參數(shù)介紹:

產(chǎn)品名稱

潔凈烘箱

產(chǎn)品型號(hào)

Class-980A

Class-980B

顯示方式

7寸觸摸屏顯示,TIMI/富士品牌

電源電壓

AC380V 50HZ(三相五線制)  

控溫范圍

室溫+10~200℃

室溫+10~300℃

溫度分辨率

0.1℃

波動(dòng)度

±1

均勻度

 ±1.5%

循環(huán)方式

強(qiáng)制對(duì)流

進(jìn)氣口

Φ16mm

箱內(nèi)潔凈度

Class100/Class1000/Class10000 

過濾器

耐高溫高效過濾器

定時(shí)方式

1-9999min

輸入功率

17KW

內(nèi)膽尺寸(W*D*Hmm

1400*700*1000

外形尺寸(W*D*Hmm

1950*1055*1790

開門方式

雙開門

載物托架(標(biāo)配)

2層(承重30KG)

定時(shí)范圍

09999min/h

容積

980L

重量

730KG

備注: 1.以上所有機(jī)型外觀尺寸僅供參考,實(shí)際尺寸以實(shí)物為準(zhǔn);

         2.產(chǎn)品內(nèi)部尺寸可根據(jù)客戶要求進(jìn)行非標(biāo)定制

 

 

 

 

 


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