當前位置:首頁 > 產(chǎn)品展示 > 潔凈烘箱 > 潔凈烘箱 型號:Class-480A/B
簡要描述:產(chǎn)品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
產(chǎn)品分類
Product Category相關文章
Related Articles參數(shù)配置
細節(jié)圖解
潔凈烘箱 型號:Class-480A/B
產(chǎn)品特點:
該設備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設備,采用獨特的內(nèi)外艙分體結構結合內(nèi)循環(huán)風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環(huán)境。
產(chǎn)品用途:
產(chǎn)品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
結構特點:
外殼:外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。
內(nèi)膽:采用SUS304鏡面不銹鋼厚度1.2-1.5mm厚度之鏡面不銹鋼板,采用圓弧R角滿焊處理,易清理,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE1。
保溫層:采用高級保溫棉,六面保溫斷熱,保溫厚度為80mm-150mm,保溫性能好。
載物層架:可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距,空間利用率高。
控制系統(tǒng):
★控制面板:采用PID自動演算,7寸觸摸屏顯示,溫度、時間、曲線、可編程分段設置等參數(shù)
報警功能:帶傳感器斷線報警功能,帶超溫警報保護功能,確保產(chǎn)品運行安全
★加熱管:加熱管位于設備背面(可以有效避免液體滴到加熱管上引起爆燃現(xiàn)象)
風道結構:
風道結構:風道采用背部吸風,上下及兩側四面吹風,確保箱內(nèi)溫度均勻性,采用高密度沖孔風板。
送風裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)水平糾正處理,確保運風平穩(wěn) 。
送風裝置安全保護系統(tǒng):帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。
電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵。
潔凈循環(huán)系統(tǒng):
采用平面水平后邊送風后,經(jīng)耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往上下及兩側四面(特殊風道設計)方向送風,0.3um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達Class 100。
排氣口:(附自動啟閉風門),以達到強烈循環(huán)效果而降溫。
壓差計:進口壓差計,可實時監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。
配全自動開關排風門,烘烤過程風門緊閉,確保內(nèi)部對外封閉,防止外部排風PARTICLE回塵污染
安全功能:
采用超溫保護系統(tǒng),確保箱體在運行過程中的整體安全性能。
箱體內(nèi)部電器保護系統(tǒng)(確保箱體內(nèi)部電器運行平穩(wěn),安全可靠):
超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);
相序保護(欠壓欠相保護);
馬達過電流保護;
控制線路保險絲;
電熱過電流保護;
無熔絲開關。
參數(shù)介紹:
產(chǎn)品名稱 | 潔凈烘箱 | |
產(chǎn)品型號 | Class-480A | Class-480B |
顯示方式 | 7寸觸摸屏顯示,TIMI/富士品牌 | |
電源電壓 | AC380V 50HZ(三相五線制) | |
控溫范圍 | 室溫+10~200℃ | 室溫+10~300℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
波動度 | ±1℃ | |
均勻度 | ±1.5% | |
循環(huán)方式 | 強制對流 | |
進氣口 | Φ16mm | |
箱內(nèi)潔凈度 | Class100/Class1000/Class10000 | |
過濾器 | 耐高溫高效過濾器 | |
定時方式 | 1-9999min | |
輸入功率 | 11KW | |
內(nèi)膽尺寸(W*D*H)mm | 800*600*1000 | |
外形尺寸(W*D*H)mm | 1290*965*1790 | |
開門方式 | 雙開門 | |
載物托架(標配) | 2層(承重30KG) | |
定時范圍 | 0~9999min/h | |
容積 | 480L | |
重量 | 450KG | |
備注: 1.以上所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準; 2.產(chǎn)品內(nèi)部尺寸可根據(jù)客戶要求進行非標定制 |
產(chǎn)品咨詢