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潔凈烘箱 型號:Class-480A/B

簡要描述:產(chǎn)品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

  • 產(chǎn)品型號:Class-480A/B
  • 更新時間:2024-11-01
  • 訪  問  量:79

產(chǎn)品分類

Product Category

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參數(shù)配置

細節(jié)圖解

潔凈烘箱  型號:Class-480A/B

產(chǎn)品特點

     該設備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設備,采用獨特的內(nèi)外艙分體結構結合內(nèi)循環(huán)風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環(huán)境。

產(chǎn)品用途

產(chǎn)品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

結構特點:

外殼:外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。

內(nèi)膽:采用SUS304鏡面不銹鋼厚度1.2-1.5mm厚度之鏡面不銹鋼板,采用圓弧R角滿焊處理,易清理,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE1。

保溫層:采用高級保溫棉,六面保溫斷熱,保溫厚度為80mm-150mm,保溫性能好。

載物層架:可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距,空間利用率高

控制系統(tǒng):

控制面板:采用PID自動演算,7寸觸摸屏顯示,溫度、時間、曲線、可編程分段設置等參數(shù)

報警功能:帶傳感器斷線報警功能,帶超溫警報保護功能,確保產(chǎn)品運行安全

加熱管:加熱管位于設備背面(可以有效避免液體滴到加熱管上引起爆燃現(xiàn)象)

 

風道結構:

 風道結構:風道采用背部吸風,上下及兩側四面吹風,確保箱內(nèi)溫度均勻性采用高密度沖孔風板。

  送風裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)水平糾正處理,確保運風平穩(wěn) 。

  送風裝置安全保護系統(tǒng):帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。

   電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵。

潔凈循環(huán)系統(tǒng)

 采用平面水平后邊送風后,經(jīng)耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往上下及兩側四面(特殊風道設計)方向送風,0.3um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達Class 100。

    排氣口:(附自動啟閉風門),以達到強烈循環(huán)效果而降溫。

    壓差計:進口壓差計,可實時監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

    配全自動開關風門,烘烤過程風門緊閉,確保內(nèi)部對外封閉,防止外部排風PARTICLE回塵污染

安全功能:

    采用超溫保護系統(tǒng),確保箱體在運行過程中的整體安全性能。

    箱體內(nèi)部電器保護系統(tǒng)(確保箱體內(nèi)部電器運行平穩(wěn),安全可靠):

    超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);

    相序保護(欠壓欠相保護);

    馬達過電流保護;

    控制線路保險絲;

    電熱過電流保護;

無熔絲開關。

 

 

 

參數(shù)介紹:

產(chǎn)品名稱

潔凈烘箱

產(chǎn)品型號

Class-480A

Class-480B

顯示方式

7寸觸摸屏顯示,TIMI/富士品牌

電源電壓

AC380V 50HZ(三相五線制)  

控溫范圍

室溫+10~200℃

室溫+10~300℃

溫度分辨率

0.1℃

波動度

±1

均勻度

 ±1.5%

循環(huán)方式

強制對流

進氣口

Φ16mm

箱內(nèi)潔凈度

Class100/Class1000/Class10000 

過濾器

耐高溫高效過濾器

定時方式

1-9999min

輸入功率

11KW

內(nèi)膽尺寸(W*D*Hmm

800*600*1000

外形尺寸(W*D*Hmm

1290*965*1790

開門方式

雙開門

載物托架(標配)

2層(承重30KG)

定時范圍

09999min/h

容積

480L

重量

450KG

備注: 1.以上所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準;

         2.產(chǎn)品內(nèi)部尺寸可根據(jù)客戶要求進行非標定制

 


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